Работа в высшей степени тонкая, требующая нестандартной элементной базы. Именно такая и была создана для россиян белорусскими коллегами из минского ГНПО "Планар", единственного сегодня на постсоветском пространстве предприятия, где в комплексе ведется разработка и изготовление оборудования для производства микроэлектронной продукции. А объединила родственные предприятия двух стран научно-техническая программа Союзного государства под названием "Микросистемотехника". Генеральный директор "Планара" Геннадий Ковальчук пояснил:
- Одна из задач новой союзной программы - разработка всевозможных датчиков и сенсоров. Они могут применяться в самых разных сферах. Например, для того чтобы своевременно предупреждать о критических изменениях строительных конструкций, нефте- и газопроводов, крупных машин и механизмов. Это позволит предотвратить многие техногенные катастрофы...
Это лишь один из примеров возможностей микроэлектроники. А есть еще множество других областей науки и техники, где ее применение позволяет, подобно архимедову рычагу, перевернуть традиционные представления: транспорт, здравоохранение, информационные системы... Если прогресс там идет семимильными шагами, то потому, что сама микроэлектроника как сфера науки и производства, по мнению экспертов, обновляется не реже чем за пять лет. В этой сумасшедшей гонке участвуют лучшие умы американской Силиконовой долины, Европы, Японии. Но по многим позициям рядом можно смело поставить разработчиков Беларуси и России. Что помогает им удержаться на конкурентной волне? Тесная кооперация. Так, по программе "Микросистемотехника" сотрудничают около двух десятков белорусских и российских НИИ, КБ и предприятий. А начиналось все в 1996 году. Именно тогда правительства Беларуси и России заключили соглашение о разработке и создании оптико-механического и контрольного оборудования для производства сверхбольших интегральных схем размерности 0,8 - 0,5 микрон.
Это решение поддержал Исполком Сообщества двух стран, явившийся прообразом Союзного государства. Так несколько позже появилась первая совместная научно-техническая программа "Победа", рассчитанная на 1998 - 2000 годы. Следом были выполнены программы "Победа-2000" и "Победа-2". И каждый из этих этапов был характерен тем, что создавались еще более миниатюрные микроэлектронные приборы и оборудование для их серийного производства. Сегодня около 300 уникальных станков и механизмов, созданных по союзным программам, работают более чем на 250 предприятиях Беларуси и России. Это позволило отказаться от закупки импортного оборудования стоимостью примерно 100 миллионов долларов. Впрочем, многие образцы закупить за рубежом просто бы не удалось. Поскольку ценными новинками конкуренты делиться не спешат даже за большие деньги.
Вот тот фундамент, на котором появилась союзная программа "Микросистемотехника". Однако это тот случай, когда количество переходит в качество. Активный участник выполнения всех совместных проектов Святослав Школык, главный конструктор по сборочному оборудованию и лауреат премии Совета Министров СССР, отмечает отличия новой программы:
- "Микросистемотехника" характерна тем, что представляет собой комплексный подход в решении сложных научных и технических задач. Параллельно с тем, как идет разработка микроэлектронных устройств, отрабатывается технология их производства и изготавливается оборудование для этого. В результате мы и наши российские коллеги будем иметь базовые технологии изготовления микросистемотехнических датчиков, гироскопов и прочих подобных устройств, набор технологического оборудования для их серийного выпуска.
Святослав Борисович подводит к одному из образцов оборудования, созданных на "Планаре" в последнее время. Оно предназначено для обработки тончайшего диска из кремния (напоминающего привычный диск DVD), из которого впоследствии будут нарезаны сотни или тысячи сверхбольших интегральных схем. Однако то, что делает манипулятор установки, трудно определить словами. Он вроде как и берет кремниевый диск, чтобы переместить из одного места в другое. Но суть как раз в том, что касаться его ни в коем случае нельзя. Оказывается, диску придается вращение со скоростью 1500 оборотов в секунду, и он почти присасывается к захвату манипулятора. Но именно почти - между деталями все равно остается слой воздуха толщиной в несколько молекул. Характерный пример, дающий представление о работе планаровцев. Сравнение их с лесковским Левшой, блоху подковавшим, пожалуй, может и обидеть. Ведь им приходится оперировать величинами, в сотни, тысячи раз меньшими толщины человеческого волоса. А в ход идут такие ранее не применявшиеся физические принципы, как магнито-, акусто-, опто-, фотоэлектроника.
Об окончательных результатах этой работы говорить пока рано. Впереди еще почти два года. Всего же белорусским специалистам предстоит создать 14 опытных образцов технологического, контрольно-измерительного и метрологического оборудования. Ими будут оснащены два совместных специализированных производственных центра. Центр микросистемотехники уже создается в Санкт-Петербурге на базе ОАО "Авангард". А на базе ГНПО "Планар" будет создан центр фотошаблонов, где будут изготавливаться важнейшие составляющие микроэлектронного производства.
Григорий Рапота, Государственный секретарь Союзного государства:
- Одним из первых с 1996 года ГНПО "Планар" участвует в союзном строительстве, являясь головным исполнителем ряда совместных российско-белорусских и союзных научно-технических программ от Республики Беларусь. В настоящее время ГНПО "Планар" стал центром компетенции в области электронного машиностроения Союзного государства.