Новосибирские физики Института физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН разработали новый стандарт измерения нановысоты - идеально гладкую поверхность. Открытие уже позволяет получать в оптических микроскопах разрешение в одну триллионную часть метра.
Как сообщил "РГ" старший научный сотрудник института Сергей Косолобов, в лаборатории нанодиагностики и нанолитографии велись работы в области создания идеально гладкой поверхности. Ученые наблюдали за перестройкой атомов. В результате им удалось получить поверхности, которые не содержат на себе слои атомов - "атомных ступеней".
- "Шероховатости" на поверхностях равны "высоте" одного атома кремния, и между ними образуются достаточно широкие "террасы", которые не содержат таких выступов. Это можно считать самой гладкой поверхностью в мире, - добавил ученый.
Размеры таких поверхностей составляют от 10 до 300 микрон, при этом высота одной атомной "ступени" всегда одинакова - 0,3 нанометра. В лаборатории считают, что если собрать 10 таких "ступеней", можно получить стандарт высоты размером три нанометра.
- Для нанотехнологий существование такого стандарта - важная задача. На данный момент в мире существуют стандарты от 90 и более нанометров. А мы получили значительно меньше, - сказал Косолобов.
Созданный эталонный стандарт сейчас проходит регистрацию в госреестре средств измерений.