Установка - одно из ключевых звеньев производства микросхем. Она должна автоматически выполнять травление, очистку и сушку пластин диаметром 100, 150 и 200 миллиметров, обрабатывать не менее 100 пластин за цикл и работать минимум с восемью реагентами. Пластины 150 и 200 миллиметров - рабочий формат так называемой зрелой микроэлектроники, на которой держится выпуск силовых приборов, микроконтроллеров и чипов для промышленности и транспорта. Принципиально важно, что ключевые элементы установки должны быть российского производства, а импортные комплектующие допускаются лишь по согласованию с заказчиком. Работы предстоит завершить до 30 ноября 2029 года.
Зачем это нужно? Жидкостная химическая обработка - одна из самых частых операций в производстве чипов: между нанесением слоев пластину десятки раз очищают от мельчайших загрязнений и протравливают, формируя нужный рисунок схемы. На микронном уровне даже единичные частицы или остатки реагентов выводят будущую микросхему из строя, поэтому именно от качества очистки и сушки во многом зависит доля годных кристаллов. Автоматизированная установка сама выбирает один из восьми реагентов, заменяет ручные операции и позволяет вести обработку поточно, с предсказуемым качеством и меньшим расходом дорогой химии.
Проект закрывает самое уязвимое место отрасли - производственное оборудование, которое годами оставалось критически зависимым от импорта. Именно технологические установки перекрыть санкциями проще всего, поэтому собственный станок для химобработки пластин - это шаг к производству полного цикла, устойчивому к внешним ограничениям.
Инвестиция вполне вписывается в картину уверенного роста: за пять лет выпуск микроэлектроники в России удвоился, достигнув 3,4 триллиона рублей, а воронежский НИИЭТ недавно выпустил миллионный микроконтроллер. В 2026 году ожидается собственный литограф для топологии 130 нанометров, а производственные мощности к 2030 году планируется увеличить более чем в восемь раз.
Поддержку отрасли власти выстраивают в систему. В этом году стало известно о планах по созданию "Объединенной микроэлектронной компании". До 2030 года в нее планируется вложить примерно триллион рублей. На этом фоне заказ на отечественное оборудование вроде установки химобработки выглядит частью единой стратегии.
Государство считает данное направление стратегическим приоритетом. Выступая на ПМЭФ-2026, глава Минпромторга России Антон Алиханов отнес зрелую микроэлектронику к зоне технологической автономии - отраслям, где независимость важнее лидерства. "Без собственной промышленности страна теряет суверенитет", - подчеркнул министр.
Финансирование установки химобработки - небольшой, но показательный штрих: импортозамещение в микроэлектронике дошло до уровня станков и реагентов. И, судя по темпу, это уже не разовые победы, а системное движение вверх.